二維材料通常是在高溫下、一定氣氛下合成,襯底的選擇非常有限,需要襯底能夠耐高溫、耐化學(xué)腐蝕。但是這些生長(cháng)襯底經(jīng)常不能滿(mǎn)足后期器件的制備以及性能調控,因此,將納米尺度的二維材料完整、無(wú)損地從生長(cháng)襯底上轉移到另一個(gè)襯底上對于拓展其應用、組裝更復雜光電子學(xué)元器件是一件非常重要而且有挑戰性的工作。另外,將不同的二維材料堆疊在一起,可以形成由范德瓦爾斯作用維系的雙層甚至多層人工材料。這樣的材料被稱(chēng)為范德瓦爾斯異質(zhì)結。性質(zhì)迥異的二維材料堆疊到一起之后可以得到令人驚奇的物理性質(zhì)。近乎無(wú)限豐富的可能性使得范德瓦爾斯異質(zhì)結的重要性甚至高過(guò)了二維材料本身。所以,亟需一套高效、靈活、精準的二維材料轉移系統來(lái)解決二維材料轉移困難的問(wèn)題。
該轉移系統是為了能準確的在襯底上做標記或轉移材料而設計,它不僅可以在x-y-z三軸方向相對移動(dòng),還可以通過(guò)傾斜和旋轉來(lái)移動(dòng)。當制造異質(zhì)結構的材料時(shí),可以使晶體薄片的排列具有最高的自由度?;撞捎谜婵展潭?,并可在操作過(guò)程中進(jìn)行加熱。該系統緊湊的設計便于放置在手套箱中,可以轉移操作對空氣較為敏感的材料。
襯底支架的溫度和真空度由觸摸屏控制,用戶(hù)可以自定義的加熱速率。除了設置襯底支架真空度的泵以外,控制箱還包含一個(gè)壓縮機,可以使用氣流更快地冷卻襯底支架。
數碼顯微鏡有3個(gè)遠場(chǎng)物鏡,5X, 20X和50X。它無(wú)需計算機操控,只需要通過(guò)HDMI與顯示器直接連接。圖像直接存儲在閃存驅動(dòng)器中。
該軟件可以操控設置圖像顏色,校準范圍以及繪制簡(jiǎn)單的形狀或參考線(xiàn)。整套設備包含:光學(xué)部件、機械操控臺,電子操控臺,顯示器等模塊。
二維材料的濕法與干法轉移基本分為兩個(gè)步驟:
首先,將生長(cháng)(剝離)的二維材料轉移到載玻片的聚合物上;
其次,將二維材料從聚合物上轉移到目標襯底上,完成轉移工作。
1. 在樣品臺上粘上雙面粘性膠帶 2. 將樣品置于樣品臺 3. 將樣品臺對角固定確保平整度
4. 使用放大物鏡將樣品成像 5. 將樣品旋轉倒置 6. 將樣品安裝于微操作器上
7. 將樣品粗略地置于樣品臺 8. 將樣品移入物鏡/CCD可視范圍內 9. 樣品圖片開(kāi)始聚焦
10. 緩慢的移動(dòng)樣品并用微操作器 11. 當快要接觸到樣品表面時(shí),它的
在X-Y軸方向進(jìn)行調整,將薄片與 位置是借助CCD的數碼變焦進(jìn)行
所需的模塊對齊 微調的
具體案例:
夾層結構 異質(zhì)結構