單晶硅片的加工工藝是什么你可知曉？接下來(lái)就為大家講解

　　單晶硅是一種比較活潑的非金屬元素，是晶體材料的重要組成部分，處于新材料發(fā)展的前沿。其主要用途是用作半導體材料和利用太陽(yáng)能光伏發(fā)電、供熱等。由于太陽(yáng)能具有清潔、環(huán)保、方便等諸多優(yōu)勢，近三十年來(lái)，太陽(yáng)能利用技術(shù)在研究開(kāi)發(fā)、商業(yè)化生產(chǎn)、市場(chǎng)開(kāi)拓方面都獲得了長(cháng)足發(fā)展，成為世界快速、穩定發(fā)展的新興產(chǎn)業(yè)之一。

　　那么單晶硅片的加工工藝是什么你可知曉？接下來(lái)就為大家講解：

　?。?）加料：將多晶硅原料及雜質(zhì)放入石英坩堝內，雜質(zhì)的種類(lèi)依電阻的N或P型而定。雜質(zhì)種類(lèi)有硼，磷，銻，砷。

　?。?）熔化：加完多晶硅原料于石英堝內后，長(cháng)晶爐必須關(guān)閉并抽成真空后充入高純氬氣使之維持一定壓力范圍內，然后打開(kāi)石墨加熱器電源，加熱至熔化溫度（1420℃）以上，將多晶硅原料熔化。

　?。?）縮頸生長(cháng)：當硅熔體的溫度穩定之后，將籽晶慢慢浸入硅熔體中。由于籽晶與硅熔體場(chǎng)接觸時(shí)的熱應力，會(huì )使籽晶產(chǎn)生位錯，這些位錯必須利用縮頸生長(cháng)使之消失掉?？s頸生長(cháng)是將籽晶快速向上提升，使長(cháng)出的籽晶的直徑縮小到一定大?。?－6mm）由于位錯線(xiàn)與生長(cháng)軸成一個(gè)交角，只要縮頸夠長(cháng)，位錯便能長(cháng)出晶體表面，產(chǎn)生零位錯的晶體。

　?。?）放肩生長(cháng)：長(cháng)完*之后，須降低溫度與拉速，使得晶體的直徑漸漸增大到所需的大小。

　?。?）等徑生長(cháng)：長(cháng)完*和肩部之后，借著(zhù)拉速與溫度的不斷調整，可使晶棒直徑維持在正負2mm之間，這段直徑固定的部分即稱(chēng)為等徑部分。單晶硅片取自于等徑部分。

　?。?）尾部生長(cháng)：在長(cháng)完等徑部分之后，如果立刻將晶棒與液面分開(kāi)，那么熱應力將使得晶棒出現位錯與滑移線(xiàn)。于是為了避免此問(wèn)題的發(fā)生，必須將晶棒的直徑慢慢縮小，直到成一尖點(diǎn)而與液面分開(kāi)。這一過(guò)程稱(chēng)之為尾部生長(cháng)。長(cháng)完的晶棒被升至上爐室冷卻一段時(shí)間后取出，即完成一次生長(cháng)周期。

　　以上便是單晶硅片的加工工藝所在，希望對你有所幫助！如果還有什么不了解的可以直接聯(lián)系我們客服！